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GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器

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GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器

流量範圍-滿量程容量 : 3 sccm – 50 slm

精度 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 2-35%

最大壓力 : 150 psig / 10 bar

重複性 : <0.20% S.P.

模擬通訊 : 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
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使用一台設備應對多種氣體相當於實現了工藝靈活性和生產效率最大化。採用布魯克斯儀器獨有 MultiFlo™ 技術的 GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器非常適用於那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準確性的同時重新設定測量範圍的系統、工藝和設施。該產品與前所未有的流量測量和控制性能相結合,能夠將工藝靈活性提升至新高度。

 

特點

* 可編程多氣體/多量程功能

* Brooks® MultiFlo™ 氣體資料庫包含數千種天然氣體測定結果,可用于建立修正函數

* 流量回應時間不足 1 秒,精度可達目標應用設定值的 1%

* 非常適用於各種氣體

* 快速回應,哈氏合金感測器

* 擁有獨立於工具通信並可輕鬆接入的診斷服務埠

* 多協議通信選件包括 DeviceNet™EtherCAT®Profibus® RS-485 類比介面

 

優勢

* MultiFlo™ 技術能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設定新氣體和滿量程,從而最大限度延長運行時間

* MultiFlo™ 編程功能簡單、易用;60 s 內即可完成新氣體的選擇操作

* 可大幅降低設備商和大型終端用戶的流量控制器庫存

* 得益於基於國際標準的高級計量系統和校準技術,產品擁有出色的工藝氣體測量精度

* 耐腐蝕感測器擁有無可比擬的長期穩定性,可確保良率和產能最大化

* 對用戶開放的服務埠簡化了故障排除和診斷操作

* 各種橡膠密封件為各種應用提供了經濟實惠的性能靈活性

* 多協定通信介面可集成至現有系統

 

應用

* 太陽能電池化學氣相沉積

* 生命科學實驗室

* 真空處理

* 納米技術/MEMS 製造

* 等離子體、玻璃和捲繞鍍膜系統

* 非常適用于管彙系統/氣體輸送系統